The　adsorption　and　decomposition　of　FCN　on　Si　(100)-(2　X　1)　surface　have　been　studied　by　using　density　functional　theory　with　the　cluster　model.　Si9H12　dimer　cluster　is　used　to　simulate　the　Si　(100)　surface.　The　present　calculations　show　that　FCN　can　be　adsorbed　without　a　barrier　on　the　surface　with　linear　(L1)　orparallel　(S1)　model.　L1　can　further　isomerize　to　S1　with　a　barrier　of　13.2　kcal　mol(-1).　Unlike　HNC,　CINC,　INC　and　FCN　absorbed　on　Si　(100)　with　a　linear　structure,　FNC　is　absorbed　on　the　Si　(100)　surface　with　a　bend　structure.　Both　FCN　and　FNC　end-on　adsorbates　are　dissociated　readily　to　F　and　CN　species.　(c)　2005　Elsevier　B.V.　All　rights　reserved.