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原子力显微镜高精密纳米尺度测量仪器.原子力显微镜探针针尖是原子力显微镜测量不确定度的主要来源之一.探针针尖在测量过程中容易产生磨损和损坏,也容易产生污染.因此,有必要对原子力显微镜探针针尖进行形貌表征和重构.原子力显微镜探针针尖标定主要依靠特制的标准样品,标准样品制造成本过高,因此,本项目旨在开发发低成本的针尖表征样品和相关形貌重构算法.
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Year： 2016
Page： 418-418
Language： Chinese
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