Abstract：
与实验测量相结合,实现随机粗糙面数字化表征及重构;在分析刚性凸头单次/多次冲击接触弹塑性金属薄膜的接触-分离基础上,建立微悬臂梁和覆膜基底间粗糙面重复冲击接触—分离模型,充分考虑微悬臂梁弹性恢复力、微凸体间相互作用、接触粗糙面时变性、材料弹塑性变形以及分子黏着等影响.动态分析每次接触-分离后实际接触面积,薄膜/基底应力、应变及破坏等变化规律;以及各参数与冲击接触速度、微构件尺寸等的关系;研究结果对提高微机械开关的工作可靠性具有一定的理论意义和应用价值.
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Year： 2016
Page： 332-332
Language： Chinese
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