为提高射频微机电开关(　RF　MEMS　SWITCH　)的稳定性和可靠性，进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理，运用ABAQUS　6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型；动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触力、接触位移、破坏变形等变化规律。结果表明：在单次加卸载过程中，薄膜/基底与微悬臂梁间存在多次明显接触-分离现象，并伴随着极大的冲击力，而多次激烈冲击不利于系统的稳定接触性能。在接触过程中，薄膜承受了大部分外载，所受的vonMises等效应力值大于基底受到的vonMises等效应力值。界面层损伤规律表现为明显的阶梯型，且其突变点受冲击力影响。