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针对微机械系统和精细加工技术中现有的振动测量方法存在易受电磁干扰、动态和线性范围窄等诸多问题,本文提出了一种基于一维位置敏感器(PSD)相位检测的振动测量方法,通过激光三角法将被测物体的振动信号转换为光斑在PSD的位置变化,PSD两电极输出的电流相差信号经PSD相位法的信号处理电路转换为与光斑位置成线性关系的直流电压信号,由此确定光斑的位置变化,进而测量物体的振动,且实时信号可以通过示波器或在上位机界面中显示.本文实验测量的平均相对误差为0.89％,最大误差为1.75％,线性度优于1.2％,实现了振动的高精度、高线性度和不受电磁干扰的测量.
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光电子·激光
ISSN： 1005-0086
CN： 12-1182/O4
Year： 2014
Issue： 9
Volume： 25
Page： 1765-1770
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