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针对二极式场致发射显示器(field emission display, FED)驱动电压过高的问题, 设计制作了前栅极式三极结构纳米ZnO场致发射显示器, 并进行了场致发射实验, 验证这种结构的可行性.前栅极结构采用喷砂工艺结合光刻技术, 制作出微细的栅孔结构, 实现了较低电压的控制.同时对影响场致发射性能的栅极电压、栅孔开口尺寸和介质层厚度进行了分析讨论.实验结果表明:采用三极结构四针状纳米ZnO场致发射显示器具有良好的发射性能, 是一种有前途的场致发射显示器.
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光学学报
ISSN： 0253-2239
Year： 2009
Issue： 2
Volume： 29
Page： 500-505
1 . 6 0 0
JCR@2023
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