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评述了MEMS系统中,尺度效应对材料性能、器件的机械特性、流体系统以及摩擦和粘附等方面的影响,微尺度效应是在微机电系统的设计过程必须考虑的问题,也是MEMS产品从实验室走向市场化商品的关键理论基础.
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机电产品开发与创新
ISSN： 1002-6673
CN： 11-3913/TM
Year： 2005
Issue： 5
Volume： 18
Page： 28-30
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