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对单面分流四边形电极结构二维位置敏感探测器 (PSD)的场分布及输出电流进行了理论分析与计算 ,并按照该结构的位置公式计算得到了与实际结果基本一致的非线性和失真网格图 ,从而证实 :该结构PSD的非线性及失真主要来源于位置公式本身 ,改善这种结构PSD的非线性及失真的切实有效措施是寻找与理论计算结果尽可能一致又相对容易实现运算的位置公式。
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半导体光电
ISSN： 1001-5868
CN： 50-1092/TN
Year： 2000
Issue： 04
Page： 269-271,275
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