Abstract：
本文介绍直接用Ｆｅ作靶材料，空气中的氧作反应气体，利用等离子体反应溅射淀积出氧 化铁簿膜．同时在Ｆｅ靶上挂所需掺杂元素的金属丝．可方便地实现掺杂．气敏检测结果表明，这 是一种酒敏材料．借助于ＸＲＤ、ＳＥＭ的分析和观察表明．在７５０℃左右热处理之前，簿膜是一种 非晶氧化铁结构．它与烧结型γ－Ｆｅ２Ｏ３或α－Ｆｅ２Ｏ３的结构不同，具有对乙醇的独特选择性．
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1991
Issue： 02
Page： 41-45
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