Abstract:
采用离子束溅射沉积(IBSD)、铸造合金靶材技术,在水冷金属衬底上溅射制备Sm-Fe超磁致伸缩薄膜材料(Sm-Fe GMFs);并对薄膜样品进行了不同温度的真空加热处理。结果表明:采用实验拟定的IBSD工艺可获得表面平整光滑、膜层组织均匀致密、与衬底材料结合良好的非晶态Sm-FeGMFs,随加热温度升高,膜材组织结构发生了非晶→非晶+微晶→纳米多晶的转变过程(晶化温度约为400℃),其静态磁致伸缩性能也随之发生变化;经过适当温度的真空加热处理,能有效改善Sm-Fe膜材的静态磁致伸缩性能、大幅度提高其低场磁敏性(λ_(50KA·m-1)约为350×10-6)。
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Year: 2009
Language: Chinese
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