Abstract：
采用离子束溅射沉积(IBSD)、铸造合金靶材及多靶计算机程序控制技术,以水冷方式在铜合金、玻璃片衬底材料上溅射制备 Sm-Fe 单层膜、Sm-Fe/Fe、Sm-Fe/Ni-Fe 复合膜;对薄膜样品进行了不同温度的真空热处理。利用 TEM 测试分析 Sm-Fe 薄膜的组织结构随温度变化的转变情况;通过悬臂梁法采用 DWS 超精密位移测量仪测量并计算薄膜磁致伸缩系数;并通过有限元分析方法(ANSYS 软件),对 Sm-Fe 薄膜与衬底的厚度匹配、弹性模量及泊松比等对悬臂梁样品自由端挠度值的影响进行了研究。结果表明:采用 IBSD 法获得的非晶态 Sm-Fe 膜材随加热温度升高,组织结构发生了非晶→...
Keyword：
Reprint 's Address：
Email：
Source ：
Year： 2008
Language： Chinese
Cited Count：
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 2
Affiliated Colleges：
