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本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-in技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMIC0.18μmCMOS工艺,电源电压为1.8V,采样时钟频率为250KHz。仿真结果表明该调制器精度达到13bit,整个调制器共消耗电流为180μA,输入电容的共模范围为0-8pF,动态范围为-0.26pF~+0.26pF。
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中国集成电路
ISSN： 1681-5289
Year： 2019
Issue： 5
Volume： 28
Page： 34-38
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