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提出一种基于Sigma-Delta调制的电容传感器芯片,采用三阶Sigma-Delta调制技术实现了电容到数字信号的直接转换,并通过补偿电容器矩阵扩展可测电容值范围,利用电流饥饿型OTA提高运放电流利用率,降低整体功耗。采用SMIC 0. 18μm CMOS工艺,利用Cadence工具对电路进行仿真验证,在2 V的供电电压下,共消耗电流18. 6μA,0. 8 ms转换时间内,调制器实现三阶噪声整形功能,可测输入电容范围为0~8 pF,并实现良好的线性度。
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传感器与微系统
ISSN： 2096-2436
Year： 2019
Issue： 6
Volume： 0
Page： 109-111
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