采用真空悬浮熔炼法制备CoCrFeMnNiNx(x=0,0.05,0.1)高熵合金,利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对700-1000℃高温氧化后合金氧化层形貌、成分和结构进行了分析,研究N元素对CoCrFeMnNi高熵合金抗氧化性能的影响。结果表明:在700℃和800℃下,合金的氧化层以Mn2O3为主;在900℃下,氧化层以Mn3O4为主;在1000℃下,合金的氧化层则主要是Cr2O3,这是由于合金在该温度下,表面含Mn氧化物易剥落,从而导致过渡层上含Cr的氧化物裸露于表面。700-1000℃氧化CoCrFeMnNiNx高熵合金均可评定为完全抗氧化级,且该合金体系的抗高温氧化性能随含N量的增加而提高。