采用电子背散射衍射(EBSD)技术研究了冷轧变形(90%)CoCrFeMnNi高熵合金在800℃退火再结晶过程中的晶界特征分布(GBCD)。结果表明,退火0.08　h后,合金发生初次再结晶,组织中形成高达56.92%的低∑重合位置点阵(CSL)晶界,其中∑3晶界和∑9+∑27晶界的比例分别为53.04%和2.12%,且大部分低∑CSL晶界处于大角度晶界网络上,打破了大角度晶界网络连通性,其GBCD得到优化。延长退火时间(0.08~10　h),合金晶粒异常长大至二次再结晶完成,强α-{110}织构所占体积分数从49.53%增大至66.65%;低∑CSL晶界的总比例和∑3晶界的比例均下降,∑9+∑27晶界比例先上升后下降,大角度晶界网络连通性逐渐趋于完整。与此同时,该合金的维氏硬度与其再结晶晶粒尺寸满足Hall-Petch关系。