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本发明涉及一种高频交流电加热技术应用于ZnO基底电化学微加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：提供含有NaNO2的蚀溶液；步骤2：提供一高频交流电升温装置和一扫描化学显微镜，将所述高频交流电升温装置的加热微电极固定在该扫描化学显微镜上；步骤3：将合成ZnO的纳米线或薄膜作为微加工的基底置于所述蚀溶液中，利用扫描电化学显微镜的逼近装置，使所述加热微电极接近ZnO基底，然后调节加热微电极的温度，从而对ZnO基底进行微加工。本发明不仅能提高电化学微加工效率，而且可以调控加工的分辨率，方法简单，具有较好的实用价值。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201110292797.3
Filing Date： 2011/9/30
Publication Date： 2014/5/7
Pub. No.： CN102431954B
公开国别： CN
Applicants： 福州大学
Legal Status： 未缴年费
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30 Days PV： 4
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