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本发明涉及一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法，采用的技术方案是：基于材料科学与工艺计算模拟仿真的结果，对镍—铬系列合金靶材的熔炼、凝固、热机械加工和退火热处理工艺参数进行精密控制，本发明方法所设计和制备的镍—铬系列合金靶材，合金成分范围宽，按原子百分含量计可含5%~95%镍，含杂质≤0.0005%，及含余量的铬，可广泛应用于光电、数据存储工业、集成电路、光通讯工业等高精尖行业。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201210236313.8
Filing Date： 2012/7/10
Publication Date： 2014/10/1
Pub. No.： CN102732845B
公开国别： CN
Applicants： 福州大学
Legal Status： 授权
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