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本发明公开了一种具有耐铝液腐蚀复合陶瓷涂层的内加热蒸发篮制备方法，属于真空镀膜技术领域。所述钨丝蒸发篮的表面采用热喷涂技术喷涂制备0.8mm~1.5mm复合结构Al2O3‑8YSZ耐侵蚀层。氧化铝和钇稳定氧化锆粉末以10~55wt% Al2O3：90~45wt% 8YSZ称重混合，再经球磨干燥作为喷涂材料。该喷涂材料中Al2O3的掺入对YSZ有增强增韧效果不易开裂，并且形成致密、低孔隙的Al2O3/8YSZ喷涂层，具有优良的耐腐蚀性和高温力学性能，能够显著延长盛装熔融金属的钨丝蒸发篮的服役寿命，作为一种内加热式坩埚可长久、广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域，具有十分重要的工程应用价值。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201711388751.5
Filing Date： 2017/12/21
Publication Date： 2019/11/12
Pub. No.： CN108048779B
公开国别： CN
Applicants： 福州大学
Legal Status： 授权
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