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本实用新型提出基于图像处理的激光微加工自动调焦装置，包括控制模块、标准图像采集机构及激光加工平台；激光加工平台包括校对图像机构和激光加工机构，校对图像机构和激光加工机构共用调焦机构；标准图像采集机构包括成像设备、光源、双色镜、调焦平台和聚焦物镜；光源的光线经聚焦物镜聚焦后，对加工对象表面进行照射；成像设备经双色镜采集加工对象表面的反射光，并通过调焦平台调节聚焦物镜相对加工对象表面的距离以生成加工对象表面最优清晰度数码图像；控制模块根据最优图像生成清晰度标准值；当进行调焦时，校对图像机构采集加工部位表面图像，并根据控制模块提供的清晰度标准值进行调焦；本产品可以在加工对象表面稳定地维持激光焦点。
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Type： 实用新型
Patent No.： CN201820623050.9
Filing Date： 2018/4/28
Publication Date： 2018/12/28
Pub. No.： CN208289218U
公开国别： CN
Applicants： 福州大学
Legal Status： 授权
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