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提出了基于光学相干测振(optical coherence vibrometer, OCV)系统的微悬臂梁缺陷检测方法。自搭建的OCV系统最大振动位移量程、最大振动频率分别为2.574 mm和138.5 kHz,应用该系统对含缺陷微悬臂梁-附加质量块耦合结构进行振动测量获得其固有频率,并利用附加质量块对固有频率的影响特性实现了对缺陷的定位。在对系统采集到的干涉光谱信号处理的过程中,采用FFT(fast Fourier transform, FFT)+FT(Fourier transform, FT)细化频谱校正算法进行误差校正,精度可提高1 000倍以上,使系统实现纳米量级的位移测量。实验结果...
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应用光学
ISSN： 1002-2082
CN： 61-1171/O4
Year： 2021
Issue： 02
Volume： 42
Page： 304-309
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