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本文基于COMSOL建立了水中脉冲放电二维轴对称流体模型，通过数值模拟求解载流子的对流与扩散方程计算了纳秒脉冲电压下水中放电产生等离子体的电子密度数值。为研究不不同放电条件对放电过程的影响，本文分析了脉冲电压幅值、脉冲电压上升沿长短与电极间隙距离改变时等离子体电子密度的变化情况。仿真结果表明：随着脉冲电压幅值增大，水中脉冲放电等离子体电子密度增大，且峰值出现时间较快、脉冲电压上升沿较短导致正离子流注发展速度加快、在一定范围内放电间隙变长会获得更高的等离子体电子密度。
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真空科学与技术学报
Year： 2022
Issue： 04
Volume： 42
Page： 304-310
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