Abstract：
针对坩埚下降法晶体生长炉温度控制系统存在的非线性、滞后性、多温区耦合性等问题.设计了模糊解耦控制器来对生长炉上、下两个温区的温度进行控制,该控制器能够根据上、下温区的实时温度误差以及温度误差变化率,调节两个温区加热棒的功率.与传统解耦和PID算法相比,该方法具有不依赖被控对象的精确数学模型,计算量小,算法设计简单等特点.通过仿真将该方法分别与传统PID算法和传统解耦PID算法进行比较,仿真结果表明,该方法具有很好的动态性能、解耦能力和鲁棒性,有利于提升晶体生长炉的控温精度和加热效率.
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自动化与仪表
ISSN： 1001-9944
Year： 2024
Issue： 4
Volume： 39
Page： 37-41
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