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扫描电子显微镜(SEM)是表征纳米材料和纳米结构的重要测量仪器.扫描电镜在环境的影响下会产生图像失真,尤其在微纳尺度范围内会产生较大的测量误差.为了修正SEM图像的测量误差,提出基于图像配准的图像误差校正方法.该方法采用基于特征属性的图像配准技术,通过加速稳健特征算法提取图像特征点并构造描述矢量,建立失真图像的空间变换模型,从而恢复样品的真实图像.实验证明该方法能够有效地校正扫描电镜图像,提高样品形貌观测的准确性和精度.
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机械制造与自动化
ISSN： 1671-5276
CN： 32-1643/TH
Year： 2017
Issue： 6
Volume： 46
Page： 96-99
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