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林之晓 (林之晓.) [1] | 李福山 (李福山.) [2] (Scholars:李福山) | 陈景水 (陈景水.) [3] | 郭太良 (郭太良.) [4] (Scholars:郭太良)

Abstract:

  采用射频磁控溅射技术,在不同的沉积温度条件下,以掺2wt%Al2O3的ZnO陶瓷靶作为靶材,在石英玻璃上制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜。本文通过测试不同沉积温度下制备薄膜的XRD图,透过率曲线,以及薄膜电阻率,载流子浓度,迁移率来研究薄膜的结构及其光电性能,通过对比分析得到一个最优参数。结果表明:制备出来的AZO薄膜是六角纤锌矿结构,具有明显的(002)峰择优取向;薄膜在可见光区域内的平均透过率为84%左右;不同沉积温度对薄膜的电阻率影响很大。当沉积温度为250℃,溅射气压为0.052Pa,溅射功率为1000W,沉积厚度为200nm时,电阻率降到最低值为7.089×10-4Ωcm。

Keyword:

AZO薄膜 光电性能 制备工艺 射频磁控溅射法 结构分析

Community:

  • [ 1 ] [林之晓]福州大学光电显示技术研究所 福建 福州 350002 福州大学光电显示技术研究所,福建 福州,350002
  • [ 2 ] [李福山]福州大学光电显示技术研究所 福建 福州 350002 福州大学光电显示技术研究所,福建 福州,350002
  • [ 3 ] [陈景水]福州大学光电显示技术研究所 福建 福州 350002 福州大学光电显示技术研究所,福建 福州,350002
  • [ 4 ] [郭太良]福州大学光电显示技术研究所 福建 福州 350002 福州大学光电显示技术研究所,福建 福州,350002

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Year: 2012

Page: 342-345

Language: Chinese

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