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介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接口调理方法及智能控制器的分级控制方式.系统控温范围(25～75)℃,控温精度达0.01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠.
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仪表技术
ISSN： 1006-2394
CN： 31-1266/TH
Year： 2005
Issue： 1
Page： 44-46
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