Indexed by：
Abstract：
运用薄膜沉积技术，制作了ＭＩＭ（金属－介质－金属）结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺，并对其性能参数进行了测试
Keyword：
Reprint 's Address：
Email：
Source ：
福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1998
Issue： 02
Page： 16-18
Cited Count：
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 1
Affiliated Colleges：
