Abstract：
论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词
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福州大学学报(自然科学版)
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 1994
Issue： 05
Page： 24-27
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