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叙述了真空静电封接技术的工艺过程,对封接结果做扫描电子显微镜(SEM)断面观察,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器(SIMS)进行分析,提出了真空静电封接的类电容器结构的新模型.
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福州大学学报（自然科学版）
ISSN： 1000-2243
CN： 35-1337/N
Year： 2000
Issue： 2
Volume： 28
Page： 16-19
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