Abstract：
随着新材料与新工艺不断的引入到纳米器件的生产中,以及纳米器件特征尺寸的不断缩小,对于纳米器件表面粗糙度的测量与表征提出了更高的要求。本文阐述了当前纳米粗糙度评定基准以及常规三维评定基准在研究中存在的不足,提出将第三代小波——双树复小波(DT-CWT)变换用于纳米粗糙度的评定。将实验得到的多孔阳极氧化铝薄膜作为表面纳米粗糙度研究对象,通过比较三代小波对其进行重构后的最大重构误差及精度误差,得出了DT-CWT使用的最优性。并用常用的幅度特性参数验证了DT-CWT提取纳米表面基准面的可行性。
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Year： 2013
Language： Chinese
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