Abstract：
本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用.
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传感器世界
ISSN： 1006-883X
CN： 11-3736/TP
Year： 2004
Issue： 1
Volume： 10
Page： 12-16
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