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本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
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测试技术学报
ISSN： 1671-7449
CN： 14-1301/TP
Year： 2004
Issue： z3
Volume： 18
Page： 19-21
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