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纳米ZrO2作为一种新型的陶瓷材料已被应用于许多领域.本文主要介绍了低温强碱法制备纳米ZrO2材料,利用纳米ZrO2进行掺杂制作的元件有较好的气、湿敏特性.元件具有响应恢复快、结构简单等特点.作为湿敏元件时元件电容随湿度变化大,温度影响较小.作为电阻型气敏元件时,元件对NH3的选择性高.

Keyword:

NH3传感器 ZrO2 湿敏传感器 电容式

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  • [ 1 ] [陈伟]福州大学
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  • [ 6 ] [孙吉]福州大学

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传感技术学报

ISSN: 1004-1699

CN: 32-1322/TN

Year: 2004

Issue: 3

Volume: 17

Page: 472-475,496

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30 Days PV: 3

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