Indexed by：
Abstract：
以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.
Keyword：
Reprint 's Address：
Email：
Version：
Source ：
功能材料
ISSN： 1001-9731
CN： 50-1099/TH
Year： 2004
Issue： z1
Volume： 35
Page： 939-942
Cited Count：
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 1
Affiliated Colleges：
