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主要综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状,分析了存在问题,指出了今后的研究重点,并对其未来发展作了展望,提出了相应的发展策略.
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组合机床与自动化加工技术
ISSN： 1001-2265
CN： 21-1132/TG
Year： 2002
Issue： 7
Page： 1-3
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