Abstract：
主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ,分析了存在问题 ,指出了今后的研究重点 ,并对其未来发展作了展望 ,提出了相应的发展策略。
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组合机床与自动化加工技术
Year： 2002
Issue： 07
Page： 3-5
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