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可靠的薄膜封装对提高有机发光二极管(Organic light-emitting diode,OLED)器件寿命至关重要.本文采用原子层沉积实现了致密Al2O3薄膜的低温制备,并研究了喷墨打印PMMA墨水在Al2O3薄膜的均匀成膜以及Al2O3/PMMA交叠薄膜的水汽阻隔性能.实验结果表明,当打印分辨率为300 DPI时,PMMA墨水在Al2O3薄膜表面均匀成膜,Al2O3/PMMA交叠薄膜具有良好的水汽阻隔性能和光学透过率.钙膜电学测试结果显示,3对Al2O3/PMMA薄膜的水汽透过率低至8.34×10-5 g/(m2·d),而光学透光率在可见光范围内高于95％,表现出良好的OLED器件薄膜封装性能.
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发光学报
ISSN： 1000-7032
CN： 22-1116/O4
Year： 2021
Issue： 1
Volume： 42
Page： 118-125
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