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用真空热蒸发技术在玻璃基片上沉积一层Sn薄膜,分别在硫化温度为210,240和270℃的条件下硫化45min。研究了硫化温度对薄膜样品光学和电学性能的影响。结果显示:随着硫化温度的升高,其电阻率减小;但薄膜导电类型不受硫化温度的影响,都为ρ型。当硫化温度为240℃时,薄膜为斜方SnS多晶薄膜,沿{111}方向优先生长,其均匀性和致密性以及对基片的附着力都较好,薄膜粒径为200-800nm,薄膜的直接能带间隙为1.46eV,电阻率为25.54Ω·cm。
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电子元件与材料
ISSN： 1001-2028
Year： 2009
Issue： 5
Page： 65-68
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